擴(kuò)散硅傳感元件原理及特點

      壓阻效應(yīng)原理

      壓阻效應(yīng)本質(zhì)就是應(yīng)力的作用。 即在硅材料沿某一晶向施加一定的壓力時,使它們之間的能帶形狀發(fā)生變化,引起單晶體電導(dǎo)率的改變。 其變化值與所加的應(yīng)力大小和方向有著一定的關(guān)系。 擴(kuò)散硅應(yīng)變元件就是利用壓阻效應(yīng)制成的。

擴(kuò)散硅壓阻傳感元件的特點

擴(kuò)散硅壓阻傳感元件與其他傳感元件相比具有結(jié)構(gòu)簡單,可微型化,輸出信號大,精度高,分辨率高,頻響高,低功耗,體積小,工作可靠等突出特點。

沃天較熱門硅壓阻式壓力芯體有哪些呢

PC10硅壓阻式壓力芯體

壓力類型：表壓、絕壓、密封壓

量程范圍：-100kPa…0~10kPa…100MPa

輸入阻抗：2kΩ~5kΩ 恒流；

                  3kΩ~18kΩ 恒壓

零點輸出：±2mV

滿量程輸出：1.5mA?激勵≥40mV(≤35kPa),

                     60~150mV(其余量程)；

                     10V 激勵≥60mV(≤35kPa),

                      80~120mV(其余量程)

激勵：恒流1.5mA；恒壓10V

精度：0.25%F.S.(典型)

工作溫度：-40℃~125℃

補(bǔ)償溫度：恒流0℃~60℃(≤35kPa),-10℃~70℃(其余量程)；

                  恒壓-20℃~85℃

殼體和膜片材質(zhì)：不銹鋼316L

灌注液體：硅油

PC16硅壓阻式壓力芯體

壓力類型：表壓、絕壓、密封壓

量程范圍：-100kPa~0~100kPa…25MPa

輸入阻抗：2kΩ~5kΩ恒流；3kΩ~18kΩ恒壓

零點輸出：±2mV

滿量程輸出：1.5mA激勵60~150mV；

                     10V激勵80~120mV

激勵：恒流1.5mA；恒壓10V

精度：0.25%F.S.(典型)

工作溫度：-40℃~125℃

補(bǔ)償溫度：恒流-10℃~70℃；

                 恒壓-20℃~85℃

殼體和膜片材質(zhì)：不銹鋼316L

灌注液體：硅油

PC9硅壓阻式壓力芯體

壓力類型：表壓、絕壓、密封壓

量程范圍：-100kPa…0~10kPa…10MPa

輸入阻抗：2kΩ~5kΩ

零點輸出：±2mV

滿量程輸出：≥40mV(≤35kPa)；

                     ≥60mV(其余量程)

激勵：1.5mA

精度：0.25%F.S.(典型)

工作溫度：-40℃~125℃

補(bǔ)償溫度：0℃~60℃(≤35kPa)；

                 -10℃~70℃(其余量程)

殼體和膜片材質(zhì)：不銹鋼316L

灌注液體：硅油

【參考文獻(xiàn)】

1 柳繼昌.儀器儀表與分析監(jiān)測, 1986, 1: 7- 10

2 Petersank E. Silicon as A Mechanical Material. Proc IEEE, 1982: 70

3 唐敏,黃剛.傳感器世界, 1996, 7: 12- 16

4 李杰.傳感器世界, 1996, 7: 13